ASML подтвердила опасения экспертов — пожар на заводе в Берлине повредил производству сканеров EUV

[Ippolitovich]

Нидерландская компания ASML — монополист на рынке литографических сканеров для производства полупроводников — обновила информацию о пожаре на своём берлинском заводе. Окончательных выводов по происшествию пока нет, они будут обнародованы позже, но главное уже выяснено и это заставляет тревожиться о темпах перехода на новейшие техпроцессы. Пожар частично повредил производственные участки по изготовлению оборудования для сканеров диапазона EUV.

 

Сканеры EUV (в глубоком ультрафиолете) позволили компаниям Samsung и TSMC начать производство чипов с нормами 7, 5, 4 нм, они же обеспечивают базу для 3-нм производства. Там, где сканеру DUV с длиной волны 193 нм требуется сменить четыре фотошаблона для каждого критически важного слоя, сканер EUV обойдётся двумя и даже одним шаблоном. Прежде всего, это снижение себестоимости производства чипов, а в перспективе — ещё больший рост плотности транзисторов. Если ASML сорвёт планы поставок сканеров EUV, то переход на новейшие техпроцессы затормозится.

 

 

Сразу после пожара на берлинском предприятии ASML, который случился 3 января этого года, аналитики сообщили, что пострадали участки по производству оборудования для сканеров EUV. На тот момент компания не стала раскрывать подробности. Обновлённая информация о происшествии появилась на сайте ASML вчера вечером. Компания сообщила, что пожар произошёл в одной из частей производственного здания на территории завода и дым проник в соседнее здание (для чистых производств это равносильно порче оборудования и продукции). Другие здания на территории завода не пострадали и полностью готовы к работе.

 

 

На сегодняшний день компания заявляет, что планы по выпуску продукции для метрологии и инспекции (для оборудования по тестированию качества пластин, компонентов и производственного оборудования) не пострадали, поскольку берлинский завод не выпускает комплектацию для этой продукции. Производство компонентов для сканеров DUV было возобновлено. Хотя в производстве компонентов для сканеров DUV произошли некоторые сбои, компания ожидает, что они будут устранены и не повлияют ни на план выпуска, ни на доходы. В плане производства компонентов для сканеров EUV пожар затронул часть производственной зоны по изготовлению держателей кремниевых пластин в установках EUV. Этот участок пока не восстановлен и не возвращён в работу. Планы по минимизации ущерба для производства сканеров и по обслуживанию клиентов на местах разрабатываются. Дополнительную информацию о происшествии компания надеется представить 19 января во время оглашения результатов работы в предыдущем квартале. Поскольку это будет влиять на производственные планы ASML на новый 2022 год, следует ожидать исчерпывающей информации.