Китайская SMIC увеличит закупки литографического оборудования в Европе и Японии

[Ippolitovich]

Озабоченность властей США способностью китайских производителей чипов получать необходимое оборудование в обход санкций пока не вылилась в ужесточение последних, но китайская сторона готова обеспечивать рост национальной полупроводниковой промышленности даже за счёт не самого передового оборудования. Объёмы его закупок в Европе и Японии будут увеличены.

 

Как поясняет Business Korea, в структуре выручки холдинга ASML из Нидерландов, являющегося ведущим поставщиком литографических сканеров в мире, на Китай приходится примерно 30 %, и почти всё профильное оборудование достаётся компании SMIC, входящей в пятёрку крупнейших контрактных производителей чипов в мире. Не имея доступа к передовому оборудованию, позволяющему работать с литографией со сверхжёстким ультрафиолетовым излучением (EUV), китайский флагман готов увеличить закупки литографических сканеров поколения DUV. Контракт с ASML был продлён до конца 2022 года, и в нём предусмотрены условия увеличения объёмов поставок профильного оборудования для нужд SMIC, как отмечают источники.

 

 

Переговоры с ASML об увеличении поставок DUV-сканеров компания SMIC вела с начала 2021 года, но нидерландский поставщик не был уверен, что сможет работать на требуемых условиях, опасаясь расширения американских санкций. Пока они не затрагивают поставки оборудования для DUV-литографии с длиной волны лазера от 193 до 254 нм, поэтому SMIC наверняка получит возможность закупать больше таких сканеров в 2022 году. Если EUV-сканеры пригодны для изготовления чипов по 10-нм и более «тонким» техпроцессам, то с помощью DUV-сканеров обычно выпускают чипы по нормам не тоньше 30 нм. Однако, как отмечают специалисты, применение специализированной оснастки и использование различных технологических ухищрений в итоге позволяет на DUV-оборудовании получать изделия, по своим характеристикам приближённые к 10-нм чипам. По крайней мере, TSMC и Samsung подобные подходы точно практикуют.

 

 

К 2023 году SMIC рассчитывает потратить не менее $11 млрд на расширение своих производственных линий, использующих DUV-литографию. Компания сейчас эксплуатирует около тысячи литографических сканеров соответствующего класса. Другим каналом поставок для SMIC становится японское направление — в этой стране китайский контрактный производитель чипов скупает бывшее в употреблении оборудование.