Micron ещё два года будет выпускать память DRAM по старинке, без EUV-сканеров

[Ippolitovich]

В рамках очередного квартального отчёта компания Micron поделилась планами по внедрению передовых техпроцессов для производства оперативной памяти. Сообщается, что переход на сканеры диапазона EUV компания начнёт совершать в 2024 году, что минимум на четыре года позже компаний Samsung и SK hynix. Но это не означает, что все эти годы память Micron будет хуже или дороже. Micron достигла совершенства в использовании 193-нм сканеров и сохранит его.

 

Зимой этого года компания Micron приступила к опытному производству чипов DRAM с использованием техпроцесса 1α (за этим обозначением скрывается техпроцесс с нормами от 12 до 14 нм). Массовое производство памяти на техпроцессе 1-альфа развернулось к лету и сегодня львиная доля оперативной памяти Micron выпускается либо с использованием техпроцесса 1z, либо 1α. Превосходство техпроцесса 1α признали даже в компании Samsung и смогли приблизиться к его нормам только пару месяцев назад (и не факт, что превзошли его). При этом Samsung использует намного более дорогие и затратные в эксплуатации сканеры диапазона EUV с длиной волны 13,5 нм, тогда как Micron продолжает использовать сканеры с длиной волны 193 нм.

 

 

В течение следующих 12–18 месяцев Micron введёт в производство очередной техпроцесс — 1β (бета). Это станет ещё одним шагом в снижении размеров элементов на кристаллах DRAM, хотя компания продолжит скрывать точные нормы за общим названием «10-нм класс продукции». Техпроцесс 1β сохранит использование 193-нм сканеров. Наконец, техпроцесс 1γ (гамма) будет введён в производство в 2024 году. Для реализации этих планов часть литографических сканеров будет заменена на сканеры диапазона EUV. Судя по всему, компания Micron, как и компания Samsung будет использовать сканеры EUV для изготовления 2–4 критически важных слоёв, тогда как все остальные (до десятка) слоёв, лежащих ниже, будут изготавливать с помощью 193-нм сканеров методом иммерсионной литографии с погружением пластин в жидкость для увеличения оптического разрешения.