Samsung и TSMC могут использовать китайское промышленное оборудование на своих 5-нм линиях

[Ippolitovich]

Вчера на отчётной конференции глава китайской компании AMEC Джеральд Инь (Gerald Yin) сообщил, что ряд мировых лидеров по производству чипов для 5-нм техпроцесса используют установки китайского производства. Кто именно закупил китайское оборудование, не сообщается, но это могла сделать либо Samsung, либо TSMC.

 

Компания AMEC выпускает ряд установок, которые используются в литографическом производстве полупроводников. Для 5-нм линий неназванных производителей было закуплено и развёрнуто оборудование для плазменного «сухого» травления. В российской литературе оно называется реактивное ионное травление, когда на кристалле слой за слоем снимается с помощью плазменных процессов. В ассортименте продуктов AMEC установки по плазменному травлению ориентированы на обработку 300-мм кремниевых подложек и используются в широком спектре техпроцессов от 65 до 5 нм и даже ниже. Также такие установки используются в процессе упаковки чипов.

 

 

По итогам прошлого года выручка от продажи установок AMEC для плазменного травления составила 1,289 млрд юаней ($197 млн), что примерно на 58,49 % больше, чем в предыдущем году. В то же время компания отмечает снижение спроса на другой тип оборудования — на установки MOCVD (осаждения из газовой среды). В любом случае, интерес к китайскому промышленному оборудованию со стороны лидеров отрасли может только вызывать восхищение.