Производитель оборудования для выпуска чипов придумал, как ИИ может ускорить отладку техпроцессов

[Ippolitovich]

Американская компания Applied Materials создала и продвигает производителям платформу AIx, которая обещает прорыв в полупроводниковых технологиях на всех этапах их создания, от лаборатории до завода. Движимая искусственным интеллектом и технологиями по обработке больших данных платформа AIx (Actionable Insight Accelerator) поможет инженерам следить за всеми этапами производства чипов в режиме реального времени. Наладка и запуск техпроцессов пойдут быстрее.

 

Новые инструменты откроют перед разработчиками и практиками небывалые возможности. Раньше инженеры опирались на линейный поток данных и статистические выборки. Платформа AIx оперирует неимоверным количеством данных в каждый отрезок времени, позволяя оценивать ход технологического процесса по множеству параметров как во времени, так и в пространстве. Инженеры будут получать лишь ключевые из них, которые важны для производства чипов. Это позволит не отвлекаться на анализ избыточной информации и ускорит внедрение и отладку техпроцессов.

 

 

Платформа AIx работает со всем производственным и метрологическим оборудованием Applied Materials. Возможность совершать миллионы измерений на пластинах и отдельных микросхемах, а также оптимизировать тысячи переменных технологического процесса для улучшения всех характеристик полупроводниковых решений может быть перенесена из лабораторий на заводы. Это упростит и ускорит отладку новейших техпроцессов и позволит быстрее получить коммерческую отдачу от немалых вложений в новое производство. По оценкам Applied Materials, платформа AIx способна в два раза сократить время на этапе разработки чипов и на одну треть на этапе внедрения в производство.

 

 

«У инженеров есть тысячи переменных процесса на выбор, и только несколько неуловимых корреляций дают ключ к оптимизации рецептов для достижения результатов мирового уровня, — сказал Раман Ахутараман (Raman Achutharaman), вице-президент Applied Materials. AIx идентифицирует и преподносит эти важные данные, предоставляя инженерам практические идеи, необходимые для ускорения вывода продукции на рынок».

 

Добавим, в общих чертах платформа AIx включает в себя набор датчиков для производственных камер (отсеков, где происходит обработка пластин), которые предоставляют инженерам аналитику в реальном времени таких переменных, как химический состав, энергия, давление, температура и длительность процессов. Также доступна уникальная встроенная вакуумная метрология, которая позволяет измерять новые плёнки в процессе их осаждения с точностью до ангстрема. Не отстают и цифровые технологии, от создания цифровых двойников процессов до цифровых карт процессов. Очень мощный инструмент для поиска новых решений и выявления проблемных мест.